泉州网5月27日讯（融媒体记者 许小程 王柏峰 文/图）从北京航空航天大学到中国科学院空天信息创新研究院，从英国南安普敦大学访问学者到福建省高层次人才（B类），入职泉州信息工程学院，近三十载科研路上，马天军始终聚焦高频电子器件与MEMS微纳技术，以毫厘之功攻坚核心技术，以匠心坚守破解行业难题，把成果用在国防建设与地方发展主战场。他带领团队突破多项关键工艺，斩获多项国际国内发明奖项，用实际行动诠释新时代科研工作者的使命担当，荣获第二届安踏科技奖。

攻坚纳米级难题 突破关键核心技术

高频电子器件与MEMS微纳技术，是雷达、通信、高端传感装备的核心基础，门槛高、研发周期长，是支撑国家战略的重要领域。自2005年履职中国科学院电子学研究所以来，马天军始终瞄准行业前沿与国家急需，把实验室当作主战场，把技术突破作为第一目标。在承担国防科工局相关科研任务中，针对空间卫星行波管、太赫兹折叠波导制备的工艺难题，他带领团队直面传统工艺带来的尺寸偏差大、侧壁粗糙等问题。面对数十次实验失败与外界降低指标的建议，他始终坚持高标准、不妥协，带领团队从等刻蚀物理机理出发，对十余项工艺参数逐项优化调试。

为攻克关键工艺，他以精细步进开展上百组对比实验，长期在超净间连续工作十余小时，亲自完成工艺过程与数据分析，终于将器件侧壁粗糙度大幅降低，关键尺寸精度显著提升，成功研制出220GHz行波管关键互作用微纳结构，综合性能达到国内领先水平。这项成果不仅支撑国防重点装备研制，还成功应用于国家重点研发计划项目，为高灵敏度检测设备的微弱信号采集提供关键技术支撑。

凭借持续攻关与技术创新，马天军在2025年先后斩获KIPO金奖、TESLA金奖、上海国际发明创新展览会金奖、中国发明协会一等奖等多项荣誉，以硬核实力站上国际创新舞台。

匠心传承育新人 双向赋能助发展

“我曾多次来泉州调研，这片土地雄厚的产业基础和热忱的创业氛围让我很感动。”2023年年底，马天军辞去北京优渥的工作来到泉州信息工程学院，一边作为学科带头人，一边从事科研工作。他把团队建设与人才培养放在重要位置，将多年积累的核心工艺与技术经验系统整理，形成专属培训资料，常态化开展技术研讨与传帮带，让个人“独门绝技”转化为团队整体能力。

在他的指导下，一批青年教师快速成长为科研中坚，多名学生在全国性学科竞赛中摘得省级、国家级奖项。他带领团队搭建具备自主工艺路线的MEMS传感器制造平台，研发的MicroTCD传感芯片性能跻身国内先进行列，先后获得中国产学研合作促进会科技创新奖、中国发明协会科技成果一等奖等荣誉。

在技术应用上，马天军坚持国防建设与民生服务双向发力。在军工领域，他主持多项国家级基础科研与预研项目，为空间行波管、太赫兹雷达等关键部件提供完整工艺方案，有力支撑国防装备现代化建设。在民用领域，他积极推动MEMS气体传感器、微型色谱芯片等成果落地转化，应用于气相色谱分析仪器、环境监测等场景。

作为福建省科技特派员与地方高层次人才，他深入企业一线破解技术痛点，助力传统产业数字化、智能化升级；同时担任行业协会重要职务与企业技术顾问，参与编写多项国家与团体标准，以技术经验推动行业规范发展。从纳米尺度的精细打磨，到核心技术的自主可控；从个人潜心钻研，到团队薪火相传，马天军以极致追求诠释科研精神，以责任担当服务国家与地方发展。